抽样经历了几个阶段，用到了多阶段抽样方法。
将工作单位按照行业和规模分层，用到了分层抽样方法。选项C正确。
在各层内随机抽取初始单位，这是分层随机抽样。
等距抽样是最简单的系统抽样，先抽取初始单位后等距抽取5家单位，用到了系统抽样方法。选项E正确。
对被抽中单位内所有员工进行体检和调查，用到了整群抽样方法。选项D正确。