设备基础位置和尺寸的主要检查项目：基础的坐标位置；不同平面的标高；平面外形尺寸；凸台上平面外形尺寸；凹槽尺寸；平面的水平度；基础的垂直度；预埋地脚螺栓的标高和中心距；预埋地脚螺栓孔的中心线位置、深度和孔壁垂直度；预埋活动地脚螺栓锚板的标高、中心线位置、带槽锚板和带螺纹孔锚板的平整度等。