高效过滤器安装前，洁净室的内装修工程必须全部完成，经全面清扫、擦拭，空吹12~24h后进行；高效过滤器应在安装现场拆开包装，其外层包装不得带入洁净室，但其最内层包装必须在洁净室内方能拆开；安装前应进行外观检查，重点检查过滤器有无破损漏泄等，并按规范要求进行现场扫描检漏，且应合格；安装时要保证滤料的清洁和严密。